[发明专利]可精确测量曲面目标位移的激光位移传感器在审
| 申请号： | 201710402275.1 | 申请日： | 2017-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN108981585A | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 上海砺晟光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/03 | 分类号： | G01B11/03 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201103 上海市闵行*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种可精确测量曲面目标位移的激光位移传感器，主要包括：激光二极管、发射镜组、接收镜组、光电器件、处理电路等。其特征是，所述的发射镜组并非产生一束激光束，而是能够产生多束对称而且均匀分布的平行激光束。所述的发射镜组由整形镜、准直镜、分束镜、聚焦镜组成，整形镜将激光二极管发出的发散光束整形为汇聚光束，准直镜将汇聚后的激光束变为准直激光束，分束镜将一束激光束分为多束对称而均匀分布的发射激光束，聚焦镜将多束发散的激光束变为平行的激光束。所述的光电器件不是线阵器件，而是面阵器件。该激光位移传感器可以有效抑制传感器横向移动与倾斜对位移测量精度的影响，满足曲面目标位移测量的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 激光束 激光位移传感器 发射镜组 目标位移 激光二极管 测量曲面 光电器件 分束镜 聚焦镜 整形镜 准直镜 对称 传感器横向 平行激光束 处理电路 发散光束 汇聚光束 接收镜组 面阵器件 位移测量 有效抑制 发散 整形 线阵 平行 测量 汇聚 发射 移动 | ||
【主权项】：
1.一种可精确测量曲面目标位移的激光位移传感器，主要包括：激光二极管、发射镜组、接收镜组、光电器件、处理电路等；本发明的激光位移传感器的特征是，所述的发射镜组并非产生一束激光束，而是能够产生多束对称而且均匀分布的平行激光束。
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