[发明专利]一种单面发电异质结太阳能电池的制作方法

摘要

本发明公开了一种单面发电异质结太阳能电池的制作方法，所述方法包括以下步骤：硅片正、背面制绒，形成金字塔绒面；在制绒后的硅片正、背面沉积非晶硅层；在沉积非晶硅层后的硅片正、背面沉积透明导电薄膜层；在沉积透明导电薄膜层后的硅片背面沉积金属叠层；在沉积金属叠层后的硅片正、背面形成银浆电极栅线。本发明在电池背面透明导电薄膜上沉积电阻率低、成本低的金属叠层，显著提高了背电极的导电性能，可以减少甚至取消背面栅线电极的细栅，大幅减少了银浆使用量，从而降低电池的银浆栅线电极成本，提高转换效率。

主权项

1.一种单面发电异质结太阳能电池的制作方法，其特征在于：所述方法包括以下步骤：硅片正、背面制绒，形成金字塔绒面；在制绒后的硅片正、背面沉积非晶硅层；在沉积非晶硅层后的硅片正、背面沉积透明导电薄膜层；在沉积透明导电薄膜层后的硅片背面沉积金属叠层；在沉积金属叠层后的硅片正、背面形成银浆电极栅线。