[发明专利]一种基于氧化硅矩形光波导的集成光收发模块及其制备方法在审
| 申请号： | 201710402720.4 | 申请日： | 2017-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN108988950A | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 刘柳;周旋;时尧成 | 申请（专利权）人： | 绍兴柯芯光电技术有限公司;浙江大学;华南师范大学 |
| 主分类号： | H04B10/40 | 分类号： | H04B10/40;H04B10/25;H04Q11/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 312000 浙江省绍兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于氧化硅矩形光波导的集成光收发模块及其制备方法，包括至少一个具有四个45°抛光内端面的矩形氧化硅光波导、至少一个垂直腔面激光器和至少一个光子探测器，其制备方法为：利用45°刀头将矩形波导切割成三段，由划片机在芯片上切割出四个45°内端面；采用真空电子束热蒸发等对应工艺镀上布拉格反射膜、金属膜以及金属导线和焊点；再用折射率匹配胶将切割镀膜后的矩形波导粘合，同时在内端面狭缝上方一定区域涂上匹配胶；最后通过倒装焊接的方法，将垂直腔面激光器和光子探测器分别与对应的金属电极焊接，集成于内端面狭缝之上，本发明低成本，高速率，可实现多通道传输数据。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化硅 制备 垂直腔面激光器 切割 光收发模块 光子探测器 矩形波导 矩形光 内端面 波导 狭缝 焊点 折射率匹配胶 布拉格反射 多通道传输 真空电子束 倒装焊接 金属导线 金属电极 抛光 低成本 光波导 划片机 金属膜 匹配胶 热蒸发 粘合 刀头 镀膜 内端 焊接 芯片 | ||
【主权项】：
1.一种基于氧化硅矩形光波导的集成光收发模块，其特征在于:包括至少一个具有四个45°抛光内端面的矩形氧化硅光波导、至少一个垂直腔面激光器和至少一个光子探测器。
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