[发明专利]HVPE用气体传输装置、反应腔及HVPE设备在审
申请号: | 201710403740.3 | 申请日: | 2017-06-01 |
公开(公告)号: | CN107190311A | 公开(公告)日: | 2017-09-22 |
发明(设计)人: | 特洛伊·乔纳森·贝克;王颖慧;谢宇;罗晓菊 | 申请(专利权)人: | 镓特半导体科技(上海)有限公司 |
主分类号: | C30B25/14 | 分类号: | C30B25/14;C30B25/08;C23C16/455 |
代理公司: | 上海光华专利事务所31219 | 代理人: | 姚艳 |
地址: | 201306 上海市浦东*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种HVPE用气体传输装置、反应腔及HVPE设备,其中,所述HVPE用气体传输装置至少包括含金属前驱物气体通路管道,屏蔽气体通路管道,以及含氮前驱物气体通路管道;其中所述含金属前驱物气体通路管道和所述屏蔽气体通路管道均为圆形管道,且所述屏蔽气体通路管道套设于所述含金属前驱物气体通路管道外,形成圆形双套管结构;所述含氮前驱物气体通路管道位于所述圆形双套管结构的上方或者一侧。本发明避免了混合后的前驱物气体上浮沉积在气体传输装置的外壁上而导致其发生破裂,提高了含氮前驱物气体与含金属前驱物气体混合的均匀性,并提高了气流均匀性,从而提高了在衬底表面生长的外延层厚度及其组分的均匀性。 | ||
搜索关键词: | hvpe 气体 传输 装置 反应 设备 | ||
【主权项】:
一种HVPE用气体传输装置,其特征在于,所述HVPE用气体传输装置至少包括:含金属前驱物气体通路管道,屏蔽气体通路管道,以及含氮前驱物气体通路管道;其中:所述含金属前驱物气体通路管道和所述屏蔽气体通路管道均为圆形管道,且所述屏蔽气体通路管道套设于所述含金属前驱物气体通路管道外,形成圆形双套管结构;所述含氮前驱物气体通路管道位于所述圆形双套管结构的上方或者一侧。
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