[发明专利]一种光刻胶剥离液有效
| 申请号： | 201710404918.6 | 申请日： | 2017-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN107037698B | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 卢燕燕;张丽燕 | 申请（专利权）人： | 惠州达诚微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 广州市一新专利商标事务所有限公司 44220 | 代理人： | 赵志远 |
| 地址： | 516265 广东省惠州市惠阳区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光刻胶剥离液，其由有机胺、极性有机溶剂和添加剂组成，其中，各种成份的重量百分比为：有机胺1至10wt％；极性有机溶剂85至98.9wt％；添加剂0.1至5wt％。该光刻胶剥离液对于钼(Mo)、铜(Cu)、铝(Al)布线以及其他金属布线的防腐蚀性优良、剥离效果好、使用寿命长。此外，其制备简单，操作方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 剥离 | ||
【主权项】：
一种光刻胶剥离液，其特征在于，由有机胺、极性有机溶剂和添加剂组成，其中，各种成份的重量百分比为：有机胺 1至10wt％；极性有机溶剂 85至98.9wt％；添加剂 0.1至5wt％。
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