[发明专利]一种低成本、高密度ITO靶材的制备方法

摘要

本发明公开一种低成本、高密度ITO靶材的制备方法，包括以下步骤：取分散剂和粘接剂加入水中，搅拌均匀，用氨水调pH值至8～11，得预混液；所述分散剂重量比为1～2：1的柠檬酸和聚丙烯酸胺的混合物；向预混液中加入以化学共沉淀法制备的ITO粉体和烧结剂，再于球磨机中进行球磨，球磨后得到混合浆料，搅拌，抽真空除去浆料中的气泡；所述烧结剂由稀土氧化物、氮化钛和纳米GeO₂组成；把铝制模装在石膏板上，将所得浆料注入铝制模中；吸浆成型后脱模干燥，得ITO坯体；干燥后的ITO坯体在常压纯氧气的气氛下烧结，得ITO靶材。与现有技术相比，本方法获得的产品致密度高、成本低、电阻率低及晶粒尺寸分布均匀。

主权项

1.一种低成本、高密度ITO靶材的制备方法，其特征在于包括以下步骤：(1)预混液制备：取分散剂和粘接剂加入水中，搅拌均匀，用氨水调pH值至8～11，得预混液；分散剂的加入量为ITO粉体质量的0.2～0.3％，粘接剂的加入量为ITO粉体质量的0.3～2％，水的加入量为ITO粉体质量的10～20％；所述分散剂为重量比为1～2：1的柠檬酸和聚丙烯酸胺的混合物；(2)悬浮浆料的制备：向预混液中加入以化学共沉淀法制备的ITO粉体和烧结剂，再于球磨机中进行球磨，球磨后得到混合浆料，搅拌，抽真空除去浆料中的气泡；所述烧结剂由稀土氧化物、氮化钛和纳米GeO2组成；所述氮化钛的添加量为ITO粉体0.005～0.05％，所述纳米GeO2的添加量为ITO粉体的0.6～1.0％；(3)注浆后坯体成型：把铝制模装在石膏板上，将步骤(2)所得浆料注入铝制模中；吸浆成型后脱模干燥，干燥温度为30～70℃，得ITO坯体；(4)烧结：干燥后的ITO坯体在常压纯氧气的气氛下烧结，温度为1450～1550℃，保温时间为4～8小时，得ITO靶材。