[发明专利]图案形成装置、设置基板的方法和制造物品的方法有效
| 申请号： | 201710405956.3 | 申请日： | 2017-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN107450288B | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 舟桥直纪 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 宋岩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了图案形成装置、设置基板的方法和制造物品的方法。图案形成装置在基板上形成图案，该图案形成装置包括可移动的载台；保持单元，所述保持单元能移除地附接到所述载台并且被配置成吸附和保持基板；光学系统，所述光学系统的位置相对于保持单元被固定，并且被配置成检测基板的对准标记，其中所述基板被保持单元从基板的吸附表面侧吸附；参考标记，用于测量光学系统的检测场的位置；以及检测系统，被配置成检测所述参考标记。基板根据由检测系统检测到的参考标记的位置被设置在保持单元上，使得通过光学系统从基板的吸附表面侧检测到的基板的对准标记被设置在光学系统的检测场中。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 形成 装置 设置 方法 制造 物品 | ||
【主权项】：
一种在基板上形成图案的图案形成装置，其特征在于，包括：载台，所述载台能移动；保持单元，所述保持单元能移除地附接到所述载台并且被配置成吸附和保持基板；光学系统，所述光学系统的位置相对于保持单元被固定，并且被配置成检测基板的对准标记，其中所述基板被保持单元从基板的吸附表面侧吸附；参考标记，用于测量光学系统的检测场的位置；以及检测系统，被配置成检测所述参考标记，其中基板根据由检测系统检测到的参考标记的位置被设置在保持单元上，使得通过光学系统从基板的吸附表面侧检测到的基板的对准标记被设置在光学系统的检测场中。
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