[发明专利]位移检测装置有效
| 申请号： | 201710408740.2 | 申请日： | 2017-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN107462159B | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | 松下宪司;中村勇辅;野本康人;加藤瞬 | 申请（专利权）人： | 德马吉森精机株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供一种即使在衍射光栅向测量方向以外的方向发生了位移或发生了倾斜的情况下也能够减少测量误差的位移检测装置。位移检测装置(1)具备照射光的光源(2)、光束分割部(3)、衍射光栅(4)、衍射光反射部(6)、校正透镜(7)、光束耦合部(9)以及光接收部(8)。衍射光反射部(6)使第一光束(L |
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| 搜索关键词： | 位移 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种位移检测装置，具备：光源，其用于照射光；光束分割部，其将从所述光源射出的光分割为第一光束和第二光束；衍射光栅，其使由所述光束分割部分割得到的所述第一光束和所述第二光束衍射；第一反射镜，其使由所述光束分割部分割得到的所述第一光束以规定的角度向所述衍射光栅入射；第二反射镜，其使由所述光束分割部分割得到的所述第二光束以规定的角度向所述衍射光栅入射；衍射光反射部，其使由所述衍射光栅衍射后的所述第一光束和所述第二光束反射，并再次向所述衍射光栅入射；校正透镜，其配置在所述衍射光反射部与所述衍射光栅之间；光束耦合部，其将被所述衍射光栅再次衍射后的所述第一光束和所述第二光束叠加；以及光接收部，其接收由所述光束耦合部叠加后的所述第一光束和所述第二光束的干涉光，其中，所述衍射光反射部被配置为，所述衍射光反射部的反射面与所述衍射光栅的光栅面平行，所述校正透镜被配置为，所述校正透镜的中心轴与所述光栅面垂直。
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