[发明专利]KDP类晶体的生长装置在审
申请号: | 201710409731.5 | 申请日: | 2017-06-02 |
公开(公告)号: | CN107326438A | 公开(公告)日: | 2017-11-07 |
发明(设计)人: | 齐红基;陈端阳;邵建达;谢晓义;胡开伟;郑丽丽;张辉 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
主分类号: | C30B29/14 | 分类号: | C30B29/14;C30B7/08;C30B30/00 |
代理公司: | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙)31317 | 代理人: | 张宁展 |
地址: | 201800 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种KDP类晶体的生长装置,包括供晶体放置的晶体托盘、搅拌桨、搅拌桨连杆、旋转轴、驱动电机、晶体生长槽本体和生长槽上盖,其特点在于,还包括至少两根侧杆,所述的晶体托盘通过所述的侧杆与生长槽上盖相连,所述的搅拌桨通过所述的搅拌桨连杆与所述的旋转轴的下端相连,该旋转轴的上端与所述的驱动电机相连。本发明使得整个晶体生长过程中静止在晶体托盘上的晶体不会振动,晶体附近不易产生杂晶,同时能够保证晶体表面和整个生长槽内区域的联通,有利于晶体生长边界层附近的溶质传输和供应,有利于快速地生长出更均匀优质的KDP类晶体。 | ||
搜索关键词: | kdp 晶体 生长 装置 | ||
【主权项】:
一种KDP类晶体的生长装置,包括供晶体(7)放置的晶体托盘(1)、搅拌桨(3)、搅拌桨连杆(4)、旋转轴(5)、驱动电机(6)、晶体生长槽本体(8)和生长槽上盖(9),其特征在于,还包括至少两根侧杆(2),所述的晶体托盘(1)通过所述的侧杆(2)与生长槽上盖(9)相连,所述的搅拌桨(3)通过所述的搅拌桨连杆(4)与所述的旋转轴(5)的下端相连,该旋转轴(5)的上端与所述的驱动电机(6)相连。
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