[发明专利]一种一维位置传感器及其制造方法有效

专利信息
申请号: 201710410014.4 申请日: 2017-06-03
公开(公告)号: CN107195780B 公开(公告)日: 2019-06-11
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 南京奇崛电子科技有限公司
主分类号: H01L51/00 分类号: H01L51/00;H01L51/42;H01L51/48;G01D5/26
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 210000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种一维位置传感器,包括透明衬底、第一电极层、第一有机层和第二电极层组成;所述的第一有机层截面形状为直角梯形,设置在透明导电衬底之上;所述的第一有机层左侧边缘厚度h1的取值范围为50‑100 nm,右侧边缘厚度h2的取值范围为20‑50 nm,且h1与h2满足关系h1‑h2≥20 nm;所述的第一有机层厚度从左至右匀速下降;所述的第二电极层截面形状为直角梯形,设置在第一有机层之上;所述的第一电极层左侧边缘厚度h3的取值范围为100‑1000 nm,右侧边缘厚度h4的取值按h4=h1+h3‑h2计算获得;所述的第二电极层厚度从左至右匀速上升。本发明同时公开了这种位置传感器的制造方法。
搜索关键词: 一种 位置 传感器 及其 制造 方法
【主权项】:
1. 一种一维位置传感器,包括透明衬底、第一电极层、第一有机层和第二电极层组成;所述的第一有机层截面形状为直角梯形,设置在透明导电衬底之上;所述的第一有机层左侧边缘厚度h1的取值范围为50‑100 nm,右侧边缘厚度h2的取值范围为20‑50 nm,且h1与h2满足关系h1‑h2≥20 nm;所述的第一有机层厚度从左至右匀速下降;所述的第二电极层截面形状为直角梯形,设置在第一有机层之上;所述的第一电极层左侧边缘厚度h3的取值范围为100‑1000 nm,右侧边缘厚度h4的取值按h4=h1+h3‑h2计算获得;所述的第二电极层厚度从左至右匀速上升,所述第一有机层选择C70或者SubPc中的一种。
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