[发明专利]一种用于机电设备气体传感器的制备方法

摘要

本发明公开了一种用于机电设备气体传感器的制备方法，包括以下步骤步骤1导电塑料PET‑ITO清洗；步骤2多孔结构YSZ制备；步骤3有机薄膜蒸镀；步骤4对有机腔进行抽真空，当真空度达到所需数值时，调节蒸发炉温控仪，增加蒸发温度，对材料进行加热，条件合适后，依次蒸镀有机材料Alq3、CuPc，控制蒸镀时间为30~90min，使之厚度分别为1~4μm、1~3μm；步骤5丝网状金属阴极制备。本发明提供一种用于机电设备气体传感器的制备方法，使得气体传感器具有非常好的敏感性和快速响应恢复性能。

主权项

一种用于机电设备气体传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：导电塑料PET‑ITO清洗，切割特定尺寸的PET‑ITO，用专用洗涤剂和无尘布对PET‑ITO基片进行搓洗，以去除基片上的各种油污物，然后依次放入复合生物酶液、去离子水、丙酮、乙醇中，各超声清洗10~20min；然后，用高纯氮气吹干PET‑ITO，使乙醇蒸发，然后放入预处理腔中，持续通入高纯氧气，用等离子体轰击基片8~24min；步骤2：多孔结构YSZ制备，称取YSZ和NiO粉末，按质量比3~5∶1放入球磨机中，再加入一定量的分散剂和乙醇，使之充分混合，得到YSZ浆料；将YSZ浆料采用丝网印刷技术涂覆在导电塑料PET‑ITO表面，厚度为10~35μm，放入烘干箱中烘干；步骤3：有机薄膜蒸镀，把待蒸发的有机材料Alq3和CuPc放入相应的蒸发皿中，并用掩膜挡住，把烘干后的导电塑料基片从预处理腔传送到有机腔，将基片置于有机腔内的样品托上，对准有机束源；步骤4：对有机腔进行抽真空，当真空度达到所需数值时，调节蒸发炉温控仪，增加蒸发温度，对材料进行加热，条件合适后，依次蒸镀有机材料Alq3、CuPc，控制蒸镀时间为30~90min，使之厚度分别为1~4μm、1~3μm；步骤5：丝网状金属阴极制备，当各种有机薄膜蒸镀完毕后，将基片取出，覆盖丝网状电极掩模板，随后将基片送入金属蒸镀室，抽真空使气压保持在0.015~0.035MPa，进行金属电极的蒸镀，调节电流大小维持在5~10毫安，使Cr∶Al的蒸镀比例为6∶1，得到厚度为3~9μm的Cr∶Al电极。