[发明专利]一种电磁导向的光学主镜支承液压缸及其方法

摘要

本发明公开了一种电磁导向的光学主镜支承液压缸及其方法，由电磁导向装置、无摩擦力隔膜液压缸及调高装置组成；电磁导向装置由电磁铁、永磁体等组成，用于约束和引导液压缸活塞直线运动；无摩擦力隔膜液压缸由上缸体、下缸体、活塞件等组成，用于提供光学主镜所需支承力；调高装置主要由底座、紧定螺钉、连接螺栓、升降台及套筒等组成，用于调节液压缸安装高度，光学主镜支承液压缸用于在大口径光学主镜加工过程中，采用多个支承装置分布式支承方式，为主镜提供多支承点的支承力，消除支承液压缸工作过程中因约束活塞而产生的附加阻力，具有精度高、活塞径向刚度可调、可控性强、高度调节范围大、操作方便、消除传统约束方法产生的误差等优点。

主权项

1.一种电磁导向的光学主镜支承液压缸，其特征在于：由电磁导向装置（1）、无摩擦力隔膜液压缸（2）、调高装置（3）构成的光学主镜调高支承系统，所述无摩擦力隔膜液压缸（2）由缸体及位于缸体中的中心轴组成；所述电磁导向装置固定于所述缸体中并沿所述中心轴呈周向均匀对称设置，包括位于同一水平面上水平设置的电磁铁和永磁体（105），两者同心对应设置，其中，所述电磁铁固定在所述无摩擦力隔膜液压缸（2）上缸体的连接孔上，所述永磁体（105）固定在无摩擦力隔膜液压缸（2）的外部活塞件上；所述调高装置（3）由下至上依次为固连的底座（306）和套筒（304），两者均为中空结构，内部空腔中设升降平台（302）并沿所述空腔垂直上下滑动，升降平台（302）的螺杆上安装有锁紧螺母（303），位于套筒（304）之上；所述升降平台（302）与无摩擦力隔膜液压缸（2）的缸体下部固连。