[发明专利]基于反射时域波形加窗的太赫兹成像方法

摘要

本发明公开了一种基于反射时域波形加窗的太赫兹成像方法，包括以下内容：采用反射模式下的太赫兹时域光谱成像系统，对样本进行扫描，获得样本扫描平面内每一空间点的反射时域波形，对完整的反射时域波形进行去除样本上表面反射脉冲操作后，进行太赫兹C扫描水平成像，提取缺陷区域和非缺陷区域的反射时域波形，并对缺陷区域进行太赫兹B扫描截面成像，结合两者信息，分析样本内含缺陷的个数及深度位置，对反射时域波形进行加窗处理后采用太赫兹C扫描水平成像,即对样本进行分层切片成像，更直观地分析样本内部不同层间的缺陷形状和面积。此方法有效地提高了太赫兹波对样本内部层间结构和隐藏缺陷的检测能力。

主权项

一种基于反射时域波形加窗的太赫兹成像方法,包括以下步骤：(1)设置太赫兹时域光谱成像系统工作在反射模式下，调整太赫兹镜头，使样本中间深度位置处于最佳焦平面处。对样本进行太赫兹反射扫描成像，获得样本扫描平面内每一空间点的太赫兹反射时域波形；(2)对样本的太赫兹反射时域波形进行分析，获得样本上表面反射脉冲在完整反射时域波形中的位置；(3)去除样本所有空间点的太赫兹反射时域波形的上表面反射脉冲，并用上表面反射脉冲周围邻域的振幅值来代替去除部分的振幅值，获得新的太赫兹反射时域波形；(4)利用新获取的太赫兹反射时域波形进行太赫兹C扫描水平成像；(5)分析太赫兹C扫描水平成像结果，获取缺陷区域和非缺陷区域的太赫兹反射时域波形；(6)对缺陷区域处进行太赫兹B扫描截面成像，分析太赫兹B扫描截面成像结果，可初步确定样本中存在缺陷的深度位置及个数；(7)结合太赫兹B扫描截面成像结果，分析缺陷区域和非缺陷区域反射时域波形的组成成分，确定缺陷处的反射脉冲在反射时域波形中的位置及个数；(8)根据太赫兹反射时域波形的分析结果，对反射时域波形进行加窗处理，获得不同时域段信号；(9)对每一段时域信号分别进行太赫兹C扫描水平成像,即太赫兹切片成像；(10)分析太赫兹切片成像结果，得到样本内部缺陷的面积及个数。