[发明专利]一种高精度自复位探针式位移测量装置及测量方法有效
| 申请号： | 201710416896.5 | 申请日： | 2017-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN106989712B | 公开（公告）日： | 2018-03-27 |
| 发明（设计）人： | 张燕 | 申请（专利权）人： | 长春晟博光学技术开发有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/02 | 分类号： | G01B21/02;G01B21/20;G01B21/32 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司22201 | 代理人： | 刘程程 |
| 地址： | 130000 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种高精度自复位探针式位移测量装置及测量方法，测量装置由底部支撑单元、线性运动单元、线性驱动单元和顶部连接单元组成；线性运动单元与线性驱动单元相对地平行安装在底部支撑单元和顶部连接单元之间，底部支撑单元和顶部连接单元平行设置，线性驱动单元与线性运动单元连接，以控制线性运动单元中的探针竖直上下运动，实现自动测量和自动复位；线性运动单元还包括位移传感器，以测量探针在竖直方向上的位移量。方法采用线性运动单元和线性驱动单元面对面工作形式实现接触式测量。本发明能实现高精度自复位的自动测量功能，测量方法简单方便同时保证较高的稳定性及可靠性，缩短了检测时间，提高测量效率，保证测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 复位 探针 位移 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
一种高精度自复位探针式位移测量装置，其特征在于：所述测量装置由底部支撑单元、线性运动单元、线性驱动单元和顶部连接单元组成；所述线性运动单元与线性驱动单元相对地平行安装在底部支撑单元和顶部连接单元之间，所述底部支撑单元和顶部连接单元平行设置，所述线性驱动单元与线性运动单元连接，以控制线性运动单元中的探针(15)竖直上下运动，实现自动测量和自动复位；所述线性运动单元还包括位移传感器，以测量探针(15)在竖直方向上的位移量；所述底部支撑单元由连接固定底板(1)、直线轴承Ⅰ(19)和探针挡板(22)组成，所述直线轴承Ⅰ(19)安装在连接固定底板(1)上，探针挡板(22)滑动安装在连接固定底板(1)的底部，且直线轴承Ⅰ(19)对应处的探针挡板(22)的上表面与连接固定底板(1)的下表面共面；所述底部支撑单元还包括固定在连接固定底板(1)的下表面的游离端挡板(20)和固定端挡板(21)，所述游离端挡板(20)和固定端挡板(21)内部均开有槽，所述探针挡板(22)滑动安装在游离端挡板(20)和固定端挡板(21)的槽内，将固定端挡板(21)槽内的探针挡板(22)推向游离端挡板(20)时，探针挡板(22)将直线轴承Ⅰ(19)的轴孔遮挡，当探针挡板(22)被推回至固定端挡板(21)槽内时，直线轴承Ⅰ(19)的轴孔外露。
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