[发明专利]一种用于椭偏仪精确定位测量的装置及方法

摘要

本发明公开了一种用于椭偏仪精确定位测量的装置及方法。该装置包括定位片、样品台、自动二维移动平台、光强探测器、微型真空泵、显微镜成像系统、照明光源和计算机。利用定位片上的定位孔可清晰界定光斑轮廓，定位孔正下方的光强探测器嵌于样品台中央，随自动二维移动平台沿X轴和Y轴按一定步长精确移动，在使用显微成像系统观察、初步确定定位孔位置的基础上，利用光强探测器获得的光强值精确调整定位孔位置，使光斑和定位孔完全重合，再将显微成像系统的捕捉框移动到定位孔上，捕捉框就代表了光斑的精确位置，使捕捉框位于样品待测结构中，即可开始椭偏测量。本发明实现了针对具体结构的精密定位测量，操作方便，工作效率高。

主权项

1.一种用于椭偏仪精确定位测量的装置，包括椭偏仪支承架(1)、样品台(8)、定位孔(10)、照明光源(17)、微型真空泵(20)、计算机(21)、光强探测器(22)，其特征在于，包括自动二维移动平台(2)、定位片(9)、显微镜成像系统(16)；自动二维移动平台(2)位于椭偏仪支承架(1)的底面上，样品台(8)通过钢球支点(5)、拉簧A(4)、拉簧B(7)、X轴调节旋钮(3)、Y轴调节旋钮(6)与自动二维移动平台(2)相连；光强探测器(22)嵌于样品台(8)的正中央，光强探测器(22)的上表面与样品台(8)的上表面平齐，样品台(8)的上表面、光强探测器(22)的周围分布有真空吸附槽(23)，真空吸附槽(23)内设有吸附孔(24)，吸附孔(24)与气体导管(18)的一端相连，气体导管(18)固定于安装孔(25)中，气体导管(18)的另一端穿出走线孔(26)与微型真空泵(20)相连，气体导管(18)上安装有管路阀门(19)；样品台(8)上开设有X轴方槽(27)、Y轴方槽(11)，X轴调节旋钮(3)、Y轴调节旋钮(6)分别安装在X轴方槽(27)、Y轴方槽(11)上，X轴方槽(27)大于Y轴方槽(11)，X轴调节旋钮(3)和Y轴调节旋钮(6)的长度值小于样品台(8)的高度值；显微镜成像系统(16)安装在椭偏仪支承架(1)的上部，显微镜成像系统(16)的端部安装有照明光源(17)；计算机(21)分别与自动二维移动平台(2)、光强探测器(22)电信号连接，光强探测器(22)的导线通过走线孔(26)走线；定位片(9)置于样品台(8)上，定位片(9)的一面为镜面，另一面为漫反射面，定位片(9)上开设有若干个定位孔(10)。