[发明专利]基于磁致伸缩与螺旋结构石英摆线复合机理的隔微振装置

摘要

本发明基于磁致伸缩与螺旋结构石英摆线复合机理的隔微振装置属于隔微振技术领域；该装置由第一级摆、第二级摆和致动器组成；第一级摆由外部支撑结构、第一石英丝、第一测试质量和上连接件构成；第二级摆由第一测试质量、上连接件、复合摆丝、第二测试质量和下连接件构成；致动器由复合摆丝和驱动装置构成；所述复合摆丝包括第二石英丝和涂敷在第二石英丝表面的超磁致伸缩材料涂层，第二石英丝表面刻蚀有截面为矩形的螺旋沟槽，驱动装置包括上导磁体、永磁体、驱动线圈、骨架和下导磁体；本发明不仅能够实现主动隔振的技术目的，而且具有系统简化、高度集成、高灵敏度的技术优势，同时提高了对低频振动的振动效果，以及致动器的灵敏度。

主权项

1.基于磁致伸缩与螺旋结构石英摆线复合机理的隔微振装置，其特征在于，由第一级摆、第二级摆和致动器组成；所述第一级摆由外部支撑结构(1)、第一石英丝(2)、第一测试质量(3)和上连接件(4)构成；外部支撑结构(1)与上连接件(4)之间通过第一石英丝(2)连接，上连接件(4)对称分布在第一测试质量(3)的两边；所述第二级摆由第一测试质量(3)、上连接件(4)、复合摆丝(5)、第二测试质量(6)和下连接件(7)构成；第二测试质量(6)作为被隔振元件，上连接件(4)与下连接件(7)之间通过复合摆丝(5)连接，下连接件(7)对称分布在第二测试质量(6)的两边；所述致动器由复合摆丝(5)和驱动装置(8)构成；所述复合摆丝(5)包括第二石英丝(51)和涂敷在第二石英丝(51)表面的超磁致伸缩材料涂层(52)，所述第二石英丝(51)表面刻蚀有截面为矩形的螺旋沟槽，所述沟槽沿第二石英丝(51)所在方向的长度与骨架(84)长度相同，所述超磁致伸缩材料涂层(52)涂敷在第二石英丝(51)刻蚀有螺旋沟槽的区域；复合摆丝(5)用于感知外界振动，将振动信号传递给控制器；驱动装置(8)包括上导磁体(81)、永磁体(82)、驱动线圈(83)、骨架(84)和下导磁体(85)；骨架(84)为中间具有通孔，剖面为“工”字形的结构，上导磁体(81)位于骨架(84)顶部，下导磁体(85)位于骨架(84)底部，驱动线圈(83)嵌套在骨架(84)的外环，驱动线圈(83)的通入电流根据控制器得到的振动信号进行调整，为复合摆丝(5)提供驱动磁场，永磁体(82)嵌套在上导磁体(81)、驱动线圈(83)、骨架(84)和下导磁体(85)的外环，为复合摆丝(5)提供偏置磁场；第一级摆和第二级摆串联，共用第一测试质量(3)和上连接件(4)；复合摆丝(5)从驱动装置(8)中心穿过。