[发明专利]谐振滤波器图像传感器及相关的制造方法

摘要

谐振滤波器图像传感器包括像素阵列和像素阵列上方的微谐振器层，像素阵列包括多个像素。微谐振器层包括由第一材料形成的多个微谐振器，第一材料在自由空间波长500纳米处具有小于0.02的消光系数。多个像素的每个可以具有至少部分地在其上方的多个微谐振器的至少一个。谐振滤波器图像传感器还可以包括具有比第一折射率小的第二折射率的、覆盖微谐振器层的层，第一折射率是第一材料的折射率。每个微谐振器可以是平行六面体、圆柱体、椭球体和球体中的一个。

主权项

一种谐振滤波器图像传感器，包括：像素阵列，包括多个像素；以及微谐振器层，位于所述像素阵列上方，包括由第一材料形成的多个微谐振器，所述第一材料在自由空间波长500纳米处具有小于0.02的消光系数。