[发明专利]增强近红外感光性能的背照式像素单元结构及形成方法

摘要

本发明公开了一种增强近红外感光性能的背照式像素单元结构及形成方法，通过增加硅衬底的厚度，并在背面的硅衬底中增设背面光电二极管，从而增加了用于光电转换的硅衬底区域的深度，提高了像素单元的近红外感光性能；同时，通过增加背面传输管、背面悬浮漏极以及双深槽隔离结构，使得背面悬浮漏极与正面悬浮漏极、背面传输管与正面传输管分别通过深槽隔离连接在一起，只需在正面传输管上进行时序控制就可以同时控制背面传输管，从而保证了背面光电二极管中的电荷能够顺利传输到正面悬浮漏极，避免了由于硅衬底厚度增加而无法将完成光电转换的电荷从背面光电二极管中传出而造成图像残影和噪声的问题。

主权项

1.一种增强近红外感光性能的背照式像素单元结构，其特征在于，包括：/n硅衬底，其包括设于正面硅衬底中的正面光电二极管、正面悬浮漏极和正面硅衬底上的正面传输管，设于背面硅衬底中的背面光电二极管、背面悬浮漏极和背面硅衬底上的背面传输管，设于硅衬底中并位于像素之间的双深槽隔离结构，以及设于背面硅衬底上并位于像素之间的金属挡光结构；/n设于正面硅衬底上的后道介质层，其设有金属互连布线；/n所述正面光电二极管和背面光电二极管在竖直方向上叠设并相连；所述双深槽隔离结构包括第一深槽隔离和第二深槽隔离，所述第一深槽隔离和第二深槽隔离内部填充有金属；所述背面悬浮漏极通过第一深槽隔离内部填充的金属、金属互连布线与正面悬浮漏极相连，所述背面传输管通过第二深槽隔离内部填充的金属、金属互连布线与正面传输管相连；所述正面悬浮漏极依次连接正面传输管、正面光电二极管，所述背面悬浮漏极依次连接背面传输管、背面光电二极管。/n