[发明专利]基于波导集成型一维光子晶体微腔的超声波探测器在审

专利信息
申请号: 201710420964.5 申请日: 2017-06-07
公开(公告)号: CN109001303A 公开(公告)日: 2018-12-14
发明(设计)人: 何赛灵;张森林 申请(专利权)人: 常熟市浙大紫金光电技术研究中心
主分类号: G01N29/36 分类号: G01N29/36;G01H9/00
代理公司: 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 代理人: 滕诣迪
地址: 215500 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种基于波导集成型一维光子晶体微腔的超声波探测器,包括可调谐激光器、波导集成型一维光子晶体微腔、光电探测器、超声换能器,可调谐激光器向波导集成型一维光子晶体微腔发激光,超声换能器向波导集成型一维光子晶体微腔施加超声波信号,光电探测器探测波导集成型一维光子晶体微腔的输出光强度。本发明采用波导集成型光学微腔实现超声波信号的检测,解决了传统基于压电技术的超声波探测器在高频信号检测下的困难,同时这种光声检测技术具有高集成度、极小的尺寸、廉价等优势。
搜索关键词: 集成型 一维光子晶体 波导 微腔 超声波探测器 可调谐激光器 超声波信号 超声换能器 光电探测器 高集成度 高频信号 光声检测 光学微腔 压电技术 输出光 检测 激光 探测 施加
【主权项】:
1.一种基于波导集成型一维光子晶体微腔的超声波探测器,其特征在于:包括可调谐激光器(1)、波导集成型一维光子晶体微腔(2)、光电探测器(3)、超声换能器(4),可调谐激光器(1)向波导集成型一维光子晶体微腔(2)发激光,超声换能器(4)向波导集成型一维光子晶体微腔(2)施加超声波信号,光电探测器(3)探测波导集成型一维光子晶体微腔(2)的输出光强度。
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