[发明专利]基于波导集成型一维光子晶体微腔的超声波探测器在审
申请号: | 201710420964.5 | 申请日: | 2017-06-07 |
公开(公告)号: | CN109001303A | 公开(公告)日: | 2018-12-14 |
发明(设计)人: | 何赛灵;张森林 | 申请(专利权)人: | 常熟市浙大紫金光电技术研究中心 |
主分类号: | G01N29/36 | 分类号: | G01N29/36;G01H9/00 |
代理公司: | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人: | 滕诣迪 |
地址: | 215500 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于波导集成型一维光子晶体微腔的超声波探测器,包括可调谐激光器、波导集成型一维光子晶体微腔、光电探测器、超声换能器,可调谐激光器向波导集成型一维光子晶体微腔发激光,超声换能器向波导集成型一维光子晶体微腔施加超声波信号,光电探测器探测波导集成型一维光子晶体微腔的输出光强度。本发明采用波导集成型光学微腔实现超声波信号的检测,解决了传统基于压电技术的超声波探测器在高频信号检测下的困难,同时这种光声检测技术具有高集成度、极小的尺寸、廉价等优势。 | ||
搜索关键词: | 集成型 一维光子晶体 波导 微腔 超声波探测器 可调谐激光器 超声波信号 超声换能器 光电探测器 高集成度 高频信号 光声检测 光学微腔 压电技术 输出光 检测 激光 探测 施加 | ||
【主权项】:
1.一种基于波导集成型一维光子晶体微腔的超声波探测器,其特征在于:包括可调谐激光器(1)、波导集成型一维光子晶体微腔(2)、光电探测器(3)、超声换能器(4),可调谐激光器(1)向波导集成型一维光子晶体微腔(2)发激光,超声换能器(4)向波导集成型一维光子晶体微腔(2)施加超声波信号,光电探测器(3)探测波导集成型一维光子晶体微腔(2)的输出光强度。
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