[发明专利]一种基于脉冲光探测磁共振的电磁场近场成像系统及方法

摘要

本发明公开了一种基于脉冲光探测磁共振的电磁场近场成像系统和方法，该系统由激光泵浦光路、微波源、金刚石NV色心探头、CCD相机单元、同步系统、位移扫描平台、控制软件及数据分析成像系统所构成。该系统采用含有NV色心的金刚石大块单晶做探测单元，并采用静磁场将金刚石NV色心的磁共振峰劈开成8个峰，8个共振峰对应于金刚石晶格结构四个晶轴方向<111>,<1‑11>,<‑111>和<11‑1>，通过测量每个共振峰的拉比频率，获得垂直于该晶轴方向的圆偏振微波场强度，通过对四个方向的微波场强度进行综合计算，再构出微波矢量的强度和方向。通过对被测量微波芯片的局部区域微波近场高分辨成像，可以为芯片失效分析提供定量的数据。

主权项

一种基于脉冲光探测磁共振的电磁场近场成像系统，其特征在于，该系统包括用于放置样品的三维位移平台(8)、设置所述三维位移平台(8)上方的金刚石NV色心探头(5)、分别与所述金刚石NV色心探头(5)信号连接的激光泵浦光路(2)和CCD相机单元(3)、设置在所述金刚石NV色心探头(5)一侧并与之连接的微波共振系统(6)、设置在金刚石NV色心探头(5)一侧的可调磁铁(4)、与所述激光泵浦光路(2)、CCD相机单元(3)、微波共振系统(6)分别信号连接的同步系统(1)，所述微波共振系统(6)用以产生施加在金刚石NV色心探头(5)上的微波脉冲信号，所述同步系统(1)用以产生TTL控制信号。