[发明专利]硅芯清洗装置及清洗效果判断方法

摘要

本发明涉及多晶硅生产技术领域，旨在解决现有技术中硅芯清洗操作环节较多，期间容易玷污硅芯表面、无法检测是否清洗干净以及存在极大安全隐患的问题，提供一种硅芯清洗装置及清洗效果判断方法。本发明的实施例中提供的硅芯清洗装置，清洗室、风干室以及检测室依次相邻设置；硅芯在清洗室内清洗过后，经风干室风干后，置于检测室内检测，检测硅芯是否清洗干净，本发明的实施例中提供的硅芯清洗装置设置检测室对硅芯进行检测，代替人工目测直观判断，避免因人为感官判断时造成的误差，具有判断精确，减少操作工序，节省人力资源，提高安全性能的有益效果。

主权项

一种硅芯清洗装置，其特征在于：所述硅芯清洗装置包括清洗室、风干室以及检测室；所述清洗室、所述风干室以及所述检测室依次相邻设置；所述清洗室具备有上端开口的清洗池；所述风干室设置在所述清洗室与所述检测室之间；所述检测室靠近所述风干室的设置；所述检测室能够检测硅芯是否清洗干净；所述检测室内设置有检测探头；所述检测探头包括两个相对设置的检测部；两个所述检测部形成一端具有开口的检测空间；所述检测探头远离所述检测空间的开口的一端连接有第三驱动装置；所述第三驱动装置用于带动所述检测探头沿着所述检测室的长度方向移动。