[发明专利]一种柔性衬底及其制备方法在审
申请号: | 201710426608.4 | 申请日: | 2017-06-08 |
公开(公告)号: | CN109037460A | 公开(公告)日: | 2018-12-18 |
发明(设计)人: | 张其国 | 申请(专利权)人: | 上海和辉光电有限公司 |
主分类号: | H01L51/50 | 分类号: | H01L51/50;H01L51/56;H01L27/32 |
代理公司: | 上海隆天律师事务所 31282 | 代理人: | 钟宗;王宁 |
地址: | 201506 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种柔性衬底,包括依次层叠的第一膜层、第二膜层和第三膜层,其中,所述第一膜层和第三膜层为有机聚合物薄膜,所述有机聚合物薄膜中掺杂有纳米粒子,所述纳米粒子选自氧化钛、氧化锌或氧化硅中的至少一种物质;所述第二膜层为无机薄膜。本发明还提供一种上述柔性衬底的制备方法及包括上述柔性衬底的柔性显示装置。通过在柔性衬底的第一膜层和第三膜层中掺杂纳米粒子,能够有效吸收或反射激光剥离时的紫外线,从而防止激光对柔性衬底另外一侧的薄膜晶体管和OLED模块造成损伤。 | ||
搜索关键词: | 衬底 膜层 第一膜层 有机聚合物薄膜 纳米粒子 制备 掺杂纳米粒子 柔性显示装置 薄膜晶体管 反射激光 无机薄膜 依次层叠 有效吸收 氧化硅 氧化锌 自氧化 紫外线 掺杂 损伤 剥离 激光 | ||
【主权项】:
1.一种柔性衬底,其特征在于,包括依次层叠的第一膜层、第二膜层和第三膜层,其中,所述第一膜层和第三膜层为有机聚合物薄膜,所述有机聚合物薄膜中掺杂有纳米粒子,所述纳米粒子选自氧化钛、氧化锌或氧化硅中的至少一种物质;所述第二膜层为无机薄膜。
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