[发明专利]一种无线无源声表面波振动传感器在审
| 申请号： | 201710426970.1 | 申请日： | 2017-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN107238431A | 公开（公告）日： | 2017-10-10 |
| 发明（设计）人： | 王文;李勇;王毅坚;薛蓄峰;胡建学;夏前亮;贝伟斌;崔坤 | 申请（专利权）人： | 中电科技德清华莹电子有限公司 |
| 主分类号： | G01H11/08 | 分类号： | G01H11/08 |
| 代理公司： | 杭州丰禾专利事务所有限公司33214 | 代理人： | 王晓峰 |
| 地址： | 313200 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种无线无源声表面波振动传感器，包括天线，匹配电路，压电悬臂梁，由半导体工艺沉淀于压电悬臂梁上的反射型延迟线结构的SAW器件，位于悬臂梁自由端末端的质量振子和悬臂梁固定基座。叉指换能器与两个反射器构成SAW器件。制作于压电悬臂梁自由端的质量振子的上下对应封装管座封装管帽处各设置缓冲材料与。当传感器受到振动时，压电悬臂梁自由端的质量振子由于受到振动加速度的作用引起压电悬臂梁沿施力方向产生一个位移，产生弯曲变形，压电悬臂梁表面应变的变化导致反射型延迟线SAW器件中SAW传播速度的变化，由此导致反射型延迟线SAW器件的延时和相位发生相应的改变，通过解耦传感信息即可实现对振动量的感知。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 无线 无源 表面波 振动 传感器 | ||
【主权项】：
一种无线无源声表面波振动传感器，其特征在于，所述无线无源声表面波振动传感器采用悬臂梁和反射型延迟线结构；所述无线无源声表面波振动传感器包括天线（1）、匹配电路（2）、压电悬臂梁（8）、由半导体工艺沉淀于压电悬臂梁（8）上的反射型延迟线结构的声表面波器件（9）、位于梁自由端（16）末端的质量振子（10）、用于固定压电悬臂梁（8）的固定基座（6）、封装管座（5）和封装管帽（4）。
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