[发明专利]台阶仪及探针检测装置有效
| 申请号： | 201710428289.0 | 申请日： | 2017-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN107192353B | 公开（公告）日： | 2019-07-30 |
| 发明（设计）人： | 薛金祥;孙中元 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/245 | 分类号： | G01B11/245 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 王辉;阚梓瑄 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供一种台阶仪及探针检测装置，本公开的探针检测装置应用于台阶仪，台阶仪包括探头和连接于探头的探针，该探针检测装置包括安装环、激光发射单元、第一激光接收单元和处理组件，安装环连接于探头并环绕探针设置；激光发射单元设于安装环的内壁，用于向预设方向发射激光；第一激光接收单元设于安装环内壁，用于接收照射在探针而反射的激光并据以产生电信号；处理组件用于根据电信号确定一偏差值，且在偏差值大于第一预定值时，控制台阶仪停止。 | ||
| 搜索关键词： | 台阶 探针 检测 装置 | ||
【主权项】：
1.一种探针检测装置，应用于台阶仪，所述台阶仪包括探头和连接于所述探头的探针，其特征在于，所述探针检测装置包括：安装环，连接于所述探头并环绕所述探针设置；激光发射单元，设于所述安装环的内壁，用于向预设方向发射激光；第一激光接收单元，设于所述安装环内壁，用于接收照射在所述探针而反射的激光并据以产生电信号；处理组件，用于根据所述电信号确定一偏差值，且在所述偏差值大于第一预定值时，控制所述台阶仪停止；所述第一激光接收单元包括环绕所述激光发射单元设置的N个光敏元件，且N个所述光敏元件用于输出N个所述电信号；其中，N≥2；所述处理组件用于根据N个所述电信号确定所述偏差值。
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