[发明专利]压电-液压混合直线型步进电机及其工作方法

摘要

本发明公开了一种压电‑液压混合直线型步进电机及其工作方法。该电机包括：定子、动子及底座；所述定子包括驱动足、支座以及弹性预紧机构，所述驱动足包括两组对称的平行于导轨布置的压电叠层和垂直于导轨方向布置的振动液压缸，分别为定子驱动足提供平行于导轨方向和垂直于导轨方向的微幅振动。用对称的三角形周期信号激励平行于导轨方向的压电叠层，用对称的矩形周期信号激励垂直于导轨方向的振动液压缸，实现电机定子和动子之间的摩擦驱动特性在驱动阶段和回程阶段具有明显差异，从而使得动子在驱动阶段的运动距离大于在回程阶段的运动距离，该类电机的定位精度也从纳米级向微米级渐变，这有望部分代替结构复杂的宏微结合的定位平台。

主权项

1.一种压电‑液压混合直线型步进电机，包括定子、动子及底座，其特征在于，所述动子通过导轨连接在底座上，所述定子设置于底座上，定子包括驱动足以及弹性预紧机构，在弹性预紧机构的预紧力下，定子上的驱动足和动子在整个电机工作周期中始终保持紧密接触；所述驱动足包括横向振动块、纵向振动框、固定块、一组平行导轨布置的横向压电叠层和一个垂直于导轨布置的振动液压缸；所述横向振动块设置于纵向振动框内部，横向振动块的两侧分别通过一个横向压电叠层与纵向振动框预紧连接；所述固定块平行设置在所述纵向振动框的下方，固定块和纵向振动框之间通过所述振动液压缸连接。