[发明专利]一种反射镜角漂稳定性测试系统与方法有效
| 申请号： | 201710430167.5 | 申请日： | 2017-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN107228755B | 公开（公告）日： | 2019-07-16 |
| 发明（设计）人： | 李平;赵润昌;黄醒;陈文棋;靳赛;王伟;周丽丹;李志军;李天恩;梁樾;李森 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 韩雪 |
| 地址： | 621900 四川省绵*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明属于激光技术领域，具体为一种反射镜角漂稳定性的测试系统与方法。本发明通过成像设计，将光束指向稳定性转化为物像相对位置的变化，消除了光源和诊断系统稳定性对测试的影响；通过光路设计，将关联反射镜稳定性的两特征物置于同一平面进行了硬联结，从而消除了它们独立稳定性的影响。本发明适用于大型激光装置中各类光学元件稳定性的测试。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 反射 镜角漂 稳定性 测试 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种反射镜角漂稳定性的测试系统，其特征在于该系统包含：照明光源(1)、特征物A和B(2和5)、透镜(3)、被测反射镜(4)和诊断系统(6和7)组成的光路部分，其中：特征物A(2)和特征物B(5)通过硬联结作为整体置于成像透镜(3)的焦平面上，消除特征物独立晃动带来的影响；照明光源(1)照射特征物A(2)后，经过成像透镜(3)和被测反射镜(4)反射后再次通过透镜(3)，在焦平面上形成等比例放大的像，调节被测反射镜(4)的角度，使得特征物A(2)的像通过特征物B(5)；再通过诊断系统(6和7)进行放大成像并采集成像结果，设定时间间隔多次采集并统计成像结果图像，两个特征物(2和5)相对位置关系的变化表征被测反射镜角漂的稳定性；所述特征物A为圆孔(2)，特征物B为十字叉丝(5)，图像中圆孔(2)在诊断系统中的像位置变化代表整个系统的整体稳定性，十字叉丝(5)在诊断系统中的位置变化代表诊断系统的稳定性，圆孔(2)中心与十字叉丝(5)中心相对位置的变化代表传输反射镜角漂的稳定性；所述被测反射镜角漂的稳定性的计算方法如下：设透镜焦距为f，若被测反射镜的角度变化α，反射光的角度则变化2α，特征物A的像相对特征物B的平移量则为Δ＝2fα，因此被测反射镜的角漂为![]()
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