[发明专利]彩色滤光结构及其制造方法有效
| 申请号： | 201710431145.0 | 申请日： | 2017-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN109031751B | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 谢于叡;陈柏男 | 申请（专利权）人： | 奇景光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1335 | 分类号： | G02F1/1335;G03F7/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 李隆涛 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种彩色滤光结构的制造方法，包含：在晶圆上涂布透明光阻以形成透明光阻层；执行微影制程以形成虚拟涂层，其中虚拟涂层包含多个沟槽与多个柱状透明光阻，其中沟槽系夹设于两相邻的柱状透明光阻之间；以及于沟槽中涂布彩色滤光层以形成彩色滤光结构。 | ||
| 搜索关键词： | 彩色 滤光 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种彩色滤光结构的制造方法，包含：涂布一透明光阻以在一晶圆上形成一透明光阻层；执行一微影制程以形成一虚拟涂层，其中所述虚拟涂层包含多个沟槽与多个柱状透明光阻，其中所述多个沟槽是夹设于两相邻的柱状透明光阻之间；以及涂布一彩色滤光层于所述多个沟槽中以形成所述彩色滤光结构。
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