[发明专利]一种多托盘微球滚动装置在审
| 申请号： | 201710431232.6 | 申请日： | 2017-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN106987823A | 公开（公告）日： | 2017-07-28 |
| 发明（设计）人： | 陈果 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44 |
| 代理公司： | 北京细软智谷知识产权代理有限责任公司11471 | 代理人： | 付登云 |
| 地址： | 621900*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种多托盘微球滚动装置，包括步进电机和多轴联动式托盘承载装置，所述的步进电机通过多轴联动式托盘承载装置的传动轴齿轮转动，驱使六个直径和曲率相同的球面托盘做旋转运动。所述托盘承载装置包括固定支件、轴承、传动轴和传动轴齿轮；所述固定支件、轴承、传动轴和传动轴齿轮同圆心安装在步进电机上。减小微球在表面镀膜过程中，托盘转动启动时和变向时微球与托盘之间、微球与微球之间的摩擦和碰撞作用，并且保证微球能够均匀、随机地滚动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 托盘 滚动 装置 | ||
【主权项】：
一种多托盘微球滚动装置，其特征在于，包括步进电机和多轴联动式托盘承载装置，所述的步进电机通过多轴联动式托盘承载装置的传动轴齿轮转动，驱使六个直径和曲率相同的球面托盘做旋转运动。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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