[发明专利]一种真空干燥装置有效
| 申请号： | 201710433970.4 | 申请日： | 2017-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN107062828B | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 向琛;邸阳;渠谦;徐钟国 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B9/06 | 分类号： | F26B9/06;F26B25/00 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;刘伟 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供了一种真空干燥装置，包括：真空腔室；及，设置在所述真空腔室内，用于承载待处理物的承载台；所述承载台包括：承载平台；设置在所述承载平台上的多个支撑部件；以及，能够移动所述支撑部件的移动机构。本发明提供的真空干燥装置，其承载台上设置的支撑部件可移动，从而可以改变与基板的接触位置，解决现有技术中显示基板与支撑部柱接触点形成不良的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 干燥 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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