[发明专利]太阳能电池镀膜方法及太阳能电池

摘要

本发明涉及太阳能电池生产技术领域，尤其是涉及一种太阳能电池镀膜方法及太阳能电池。所述方法包括以下步骤：将放置有硅片的载板放置在传输装置上；关闭第一隔离机构，使预热腔室与氧化腔室断开，关闭第二隔离机构，使氧化腔室与镀膜腔室断开；对氧化腔室和镀膜腔室分别抽真空；将载板传送至预热腔室中，对预热腔室抽真空，对硅片进行预热；开启第一隔离机构，传输装置将载板传送至氧化腔室中，再次关闭第一隔离机构，形成氧化硅薄膜；开启第二隔离机构，将载板传送至镀膜腔室，再次关闭第二隔离机构，在镀膜腔室中沉积氮化硅薄膜、非晶硅薄膜和/或氧化铝薄膜。本发明能够在真空环境下连续完成全部的镀膜过程，降低了硅片的污染程度和破碎率。

主权项

1.一种太阳能电池镀膜方法，其特征在于：包括以下步骤：将放置有硅片的载板放置在传输装置上；关闭第一隔离机构，使预热腔室与氧化腔室断开，关闭第二隔离机构，使氧化腔室与镀膜腔室断开；对所述氧化腔室和所述镀膜腔室分别抽真空；其中，所述预热腔室的出口与所述氧化腔室的进口之间设置有第一封闭腔室，所述第一隔离机构设置在所述第一封闭腔室的内部；所述氧化腔室的出口与所述镀膜腔室的进口之间设置有第二封闭腔室，所述第二隔离机构设置在所述第二封闭腔室的内部；所述传输装置将所述载板传送至预热腔室中，对所述预热腔室抽真空，所述预热腔室对所述硅片进行预热；开启所述第一隔离机构，所述传输装置将所述载板传送至所述氧化腔室中，再次关闭所述第一隔离机构，所述硅片在所述氧化腔室中形成氧化硅薄膜；开启所述第二隔离机构，所述传输装置将所述载板传送至所述镀膜腔室，再次关闭所述第二隔离机构，形成氧化硅薄膜的硅片在所述镀膜腔室中沉积氮化硅薄膜、非晶硅薄膜和氧化铝薄膜中的一种或几种。