[发明专利]基于电子动态调控和化学辅助刻蚀的椭圆微透镜加工方法在审
| 申请号： | 201710436568.1 | 申请日： | 2017-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN107088703A | 公开（公告）日： | 2017-08-25 |
| 发明（设计）人： | 姜澜;潘昌基;孙靖雅 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | B23K26/064 | 分类号： | B23K26/064;B23K26/12;B23K26/073;B23K26/362;B23K26/32 |
| 代理公司： | 北京理工正阳知识产权代理事务所(普通合伙)11639 | 代理人： | 鲍文娟 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于电子动态调控和化学辅助刻蚀的椭圆微透镜加工方法，属于功能性表面应用技术领域。包括以下步骤调整飞秒激光系统的光路，确保激光能够垂直入射到水平放置的待加工材料表面；将狭缝放置在光路经过处，调整狭缝的位置，将狭缝宽度调节至所需大小，确保激光垂直通过狭缝中心；借助成像CCD和照明白光源进行成像，观测加工材料表面形貌及加工过程，配合机械开关的通断，在待加工材料表面进行指定区域、指定间隔的加工；将带有椭圆改性区域的样品浸入一定浓度的刻蚀溶液中刻蚀。对比现有技术，本发明为椭圆微透镜的高效、高质量制备提供了一种简单、可控、高效的加工方法。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 电子 动态 调控 化学 辅助 刻蚀 椭圆 透镜 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种基于电子动态调控和化学辅助刻蚀的椭圆微透镜加工方法，基于权利要求1所述椭圆微透镜加工装置，其特征在于：包括以下步骤：步骤一：调整飞秒激光系统的光路，确保激光能够垂直入射到水平放置的待加工材料表面；步骤二：将狭缝放置在光路经过处，调整狭缝的位置，将狭缝宽度调节至所需大小，确保激光垂直通过狭缝中心；步骤三：借助成像CCD和照明白光源进行成像，观测加工材料表面形貌及加工过程，配合机械开关的通断，即可在待加工材料表面进行指定区域、指定间隔的加工；步骤四：将步骤三所得的带有椭圆改性区域的样品浸入浓度为k的刻蚀溶液t时间。
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