[发明专利]一种TFT‑LCD玻璃基板薄化后处理方法在审
| 申请号： | 201710436606.3 | 申请日： | 2017-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN107151103A | 公开（公告）日： | 2017-09-12 |
| 发明（设计）人： | 白航空 | 申请（专利权）人： | 合肥市惠科精密模具有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市新站区九*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种TFT‑LCD玻璃基板薄化后处理方法，包括以下步骤(1)向一密闭、耐酸的容器中依次加入硫酸、盐酸、硝酸、氢氟酸及纯水配制成预处理酸液，预处理酸液中质量分数分别为硫酸32％～65％、盐酸12％～18％、硝酸10％～15％、氢氟酸0.9％～5％、纯水14％～32％；(2)将TFT‑LCD玻璃基板置于预处理酸液中，预处理酸液液位控制在TFT‑LCD玻璃基板最上方的5cm以上，预处理时间以基板双面处理量25μm～100μm的条件下控制在10min～200min内；(3)预处理完成后的液晶玻璃基板置于纯水中进行清洗，纯水鼓泡流量维持在40L/H～200L/H范围内，清洗时间控制在3min～10min；(4)将上述清洗完成后的预处理基板转投入有薄化酸液的设备内，直到基板薄化至目标厚度管控范围内。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 tft lcd 玻璃 基板薄化后 处理 方法 | ||
【主权项】：
一种TFT‑LCD玻璃基板薄化后处理方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)向一密闭、耐酸的容器中依次加入硫酸、盐酸、硝酸、氢氟酸及纯水配制成预处理酸液，预处理酸液中质量分数分别为硫酸：32％～65％、盐酸：12％～18％、硝酸：10％～15％、氢氟酸：0.9％～5％、纯水：14％～32％；(2)将TFT‑LCD玻璃基板置于预处理酸液中，预处理酸液液位控制在TFT‑LCD玻璃基板最上方的5cm以上，预处理时间以基板双面处理量25μm～100μm的条件下控制在10min～200min内；(3)预处理完成后的液晶玻璃基板置于纯水中进行清洗，纯水鼓泡流量维持在40L/H～200L/H范围内，清洗时间控制在3min～10min；(4)将上述清洗完成后的预处理基板转投入有薄化酸液的设备内，直到基板薄化至目标厚度管控范围内。
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