[发明专利]蚀刻液组合物及使用它的薄膜晶体管显示面板的制造方法在审
| 申请号： | 201710437114.6 | 申请日： | 2017-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN107488856A | 公开（公告）日： | 2017-12-19 |
| 发明（设计）人： | 金真锡;金俸均;金奎佈;申贤哲;李相赫 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司;株式会社东进世美肯 |
| 主分类号： | C23F1/44 | 分类号： | C23F1/44;H01L21/3213;H01L21/306;H01L29/66 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司11018 | 代理人： | 朴圣洁,王珍仙 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及蚀刻液组合物及使用它的薄膜晶体管显示面板的制造方法。本发明的一实施例的蚀刻液组合物包括0.1wt％至5wt％的磺酸类化合物、0.1wt％至3wt％的氟化合物、0.1wt％至5wt％的铜化合物及余量的水，并且所述蚀刻液组合物的pKa值为3以下。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 组合 使用 薄膜晶体管 显示 面板 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种蚀刻液组合物，包括：0.1wt％至5wt％的磺酸类化合物；0.1wt％至3wt％的氟化合物；0.1wt％至5wt％的铜化合物；及余量的水，并且，所述蚀刻液组合物的酸解离常数值为3以下。
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