[发明专利]纯金属或合金产品微孔加工系统

摘要

本发明提供了一种纯金属或合金产品微孔加工系统，涉及微孔加工领域。该纯金属或合金产品加工系统包括超短激光脉冲发生器、激光状态调整装置、高斯激光脉冲生成装置、环形激光脉冲生成装置以及激光脉冲合成装置，实现了减少了初次等离子体的排放时间以及初次等离子体排放过程中的残留物，提高了微孔的孔壁的光滑程度，加深了对微孔的打孔极限深度；分两次进行小能量脉冲激光实现能量注入，比相同总能量的单次大能量脉冲激光更有利于微孔口径尺寸的减小，同时降低了产生裂纹的可能性，并且聚焦后的第二激光束的环形光斑的中心环线的直径与聚焦后的第一激光束形成的高斯光斑的中心环线的直径之比大于1，可提高激光能量的注入效率。

主权项

1.一种纯金属或合金产品微孔加工系统，其特征在于，所述纯金属或合金产品加工系统包括超短激光脉冲发生器、激光状态调整装置、高斯激光脉冲生成装置、环形激光脉冲生成装置以及激光脉冲合成装置，所述超短激光脉冲发生器用于产生超短激光脉冲，并将超短激光脉冲输出至所述激光状态调整装置；所述激光状态调整装置用于调节所述超短激光脉冲发生器输入的超短激光脉冲包含的光斑直径的大小至所需求的第一光斑直径值，并将调节后的超短激光脉冲分束为第一激光束与第二激光束，并将第一激光束、第二激光束分别输出至所述高斯激光脉冲生成装置、所述环形激光脉冲生成装置，其中，第一激光束、第二激光束单位时间的光脉冲的个数为预设定的阈值；所述高斯激光脉冲生成装置所构成的光臂与所述环形激光脉冲生成装置所述构成的光臂的光程差在预设定的阈值范围内，所述高斯激光脉冲生成装置用于调节第一激光束的功率，并准直第一激光束以及调节第一激光束的光斑大小以达到所需求的第二光斑直径值，然后将调节后的第一激光束进行延迟从而生成高斯激光脉冲，并输出至所述激光脉冲合成装置；所述环形激光脉冲生成装置用于调节第二激光束的功率，并准直第二激光束以及调节第二激光束的光斑大小以达到所需求的第三光斑直径值，然后将调节后的第二激光束调整为环形激光脉冲，再对环形激光脉冲进行预聚焦，并输出至所述激光脉冲合成装置；所述激光脉冲合成装置用于将高斯激光脉冲、环形激光脉冲进行合束生成混合超短激光脉冲，并将合束后的混合超短激光脉冲进行聚焦，并将聚焦后的混合超短激光脉冲打到一待检测的纯金属或合金产品。