[发明专利]一种小发散角激光器及其制备工艺

摘要

本发明公开了一种小发散角激光器及其制备工艺，包括基板和和依次设置在基板上的有源区、第一包层和衍射光栅层，第一包层和衍射光栅层一端设置有端面刻蚀区，端面刻蚀区底部位于基板内，且端面刻蚀区内生长有发散角改善层；衍射光栅层和发散角改善层上依次覆盖有第二包层、接触层和p‑金属电极层，基板下表面镀有n‑金属电极层，发散角改善层的一端镀上抗反射镀膜层，另一端镀上高反射镀膜层，通过改变出光端面附件的材料而来改善发散角，由于其并不改变激光器原有结构且不存在光波导形貌与耦光控制问题，因此实现的工艺简单，可接受的容错范围大，且不改变原有激光器本身的特性。

主权项

1.一种小发散角激光器，其特征在于，包括基板(10)和依次设置在基板(10)上的有源区(11)、第一包层(12)和衍射光栅层(13)，第一包层(12)和衍射光栅层(13)一端设置有端面刻蚀区(15)，端面刻蚀区(15)底部位于基板(10)内，且端面刻蚀区(15)内生长有发散角改善层(20)；衍射光栅层(13)和发散角改善层(20)上依次覆盖有第二包层(30)、接触层(31)和p‑金属电极层(40)，基板(10)下表面镀有n‑金属电极层(41)，发散角改善层(20)的一端镀上抗反射镀膜层(43)，激光器在与发散角改善层所在端相对的另一端镀上高反射镀膜层(42)；端面刻蚀区(15)的长度L_s为5～20um；端面刻蚀区(15)的刻蚀底面距有源区底面的深度D_b为0*D_q‑1.5*D_q，D_q为有源区(11)的厚度；端面刻蚀区(15)在波导方向的侧面与刻蚀底面的夹角α的角度为110°～90°。