[发明专利]一种高密度、低电阻率AZO靶材的制备方法在审
| 申请号： | 201710440151.2 | 申请日： | 2017-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN107140972A | 公开（公告）日： | 2017-09-08 |
| 发明（设计）人： | 宋晓超;孔令兵;张天舒;陈晨;钱邦正 | 申请（专利权）人： | 安徽拓吉泰新型陶瓷科技有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/453 | 分类号： | C04B35/453;C04B35/632;C04B35/634;C04B35/64 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙)11411 | 代理人： | 张清彦 |
| 地址： | 230012 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开一种高密度、低电阻率AZO靶材的制备方法，包括以下步骤取分散剂和粘接剂加入水中，搅拌均匀，用氨水调pH值至8～11，得预混液；所述分散剂为重量比为11～2的柠檬酸和聚乙二醇的混合物；向预混液中加入以化学共沉淀法制备的AZO粉体和烧结剂，再于球磨机中进行球磨，球磨后得到混合浆料，搅拌，抽真空除去浆料中的气泡；所述烧结剂由稀土氧化物、氮化硅和纳米GeO2组成；把铝制模装在石膏板上，将所得浆料注入铝制模中；吸浆成型后脱模干燥，得AZO坯体；干燥后的AZO坯体在空气中烧结，得AZO靶材。与现有技术相比，本方法可在较低烧结温度下获得致密度高、电阻率低及晶粒尺寸分布均匀的产品。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高密度 电阻率 azo 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种高密度、低电阻率AZO靶材的制备方法，其特征在于包括以下步骤：(1)预混液制备：取分散剂和粘接剂加入水中，搅拌均匀，用氨水调pH值至8～11，得预混液；分散剂的加入量为AZO粉体质量的0.2～0.3％，粘接剂的加入量为AZO粉体质量的0.3～2％，水的加入量为AZO粉体质量的10～20％；所述分散剂为重量比为1：1～2的柠檬酸和聚乙二醇的混合物；(2)悬浮浆料的制备：向预混液中加入以化学共沉淀法制备的AZO粉体和烧结剂，再于球磨机中进行球磨，球磨后得到混合浆料，搅拌，抽真空除去浆料中的气泡；所述烧结剂由稀土氧化物、氮化硅和纳米GeO2组成；(3)注浆成型：把铝制模装在石膏板上，将步骤(2)所得浆料注入铝制模中；吸浆成型后脱模干燥，干燥温度为40～80℃，得AZO坯体；(4)烧结：干燥后的AZO坯体在空气气氛下烧结，温度为1200～1400℃，保温时间为4～8小时，得AZO靶材。
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