[发明专利]蒸气输送装置及其制造和使用方法

摘要

一种方法，该方法包括将载气的第一物流传输到包括液体前体化合物的输送装置。所述方法还包括将载气的第二物流传输到输送装置下游的位置。所述第一物流从所述输送装置排出之后和第二物流合并，形成第三物流，这样所述第三物流中液体前体化合物的蒸气露点低于将所述蒸气传输至一个或多个CVD反应器的导管装置的温度。所述第一物流的流动方向,第二物流的流动方向以及第三物流的流动方向是单向的，不是彼此反向的。

主权项

一种方法，其包括：将载气的第一物流传输到输送装置；所述输送装置包括液体前体化合物；所述载气的第一物流的温度等于或高于20℃；所述液体前体化合物在所述输送装置中是液态；将载气的第二物流传输到输送装置下游的位置；所述第一物流的流动方向和第二物流的流动方向不是彼此反向的；以及所述第一物流从所述输送装置中排出之后和所述第二物流合并，以形成第三物流；所述第三物流中的液体前体化合物的蒸气的露点低于环境温度。