[发明专利]一种纯无机钙钛矿发光二极管器件的制备方法

摘要

本发明提供了一种纯无机钙钛矿发光二极管器件的制备方法，该方法包括如下步骤（1）将ITO透明导电玻璃基片进行标准化清洗烘干后进行预处理；（2）将ITO转移至真空腔，进行空穴注入层和传输层蒸镀；（3）采用双源共蒸镀的方法，蒸镀形成纯无机的CsPbX3钙钛矿发光层薄膜；（4）使用红外热辐射装置，对CsPbX3钙钛矿膜热处理；（5）热蒸镀形成电子传输层、电子注入层和金属阴极电极。本发明的制作工艺简单便捷，制备难度低，采用全真空蒸镀的方法制备器件，易于制作，重复性好，器件性能稳定；通过双源共蒸镀制备方法，提高了薄膜的平整性和均一性，并且便于更换主体和客体材料或者改变两者比例，实现发光峰位置的调控。

主权项

一种纯无机钙钛矿发光二极管器件的制备方法，其特征在于该方法的制备步骤如下：第一步：将ITO透明导电玻璃基片进行标准化清洗烘干后进行预处理；第二步：将ITO转移至真空腔，进行空穴注入层和传输层蒸镀；第三步：采用双源共蒸镀的方法，蒸镀形成纯无机的CsPbX3钙钛矿发光层薄膜，所述X为碘、氯或溴；所述CsPbX3钙钛矿发光层薄膜所用的钙钛矿材料为PbX2和CsX，蒸镀速率为1 Å/s，PbX2与CsX的摩尔比为1:1.2，且放置位置为180°对角；第四步：使用红外热辐射装置，对CsPbX3钙钛矿膜热处理；第五步：热蒸镀形成电子传输层、电子注入层和金属阴极电极。