[发明专利]液处理装置、液处理方法以及存储介质

摘要

本发明提供一种液处理装置、液处理方法以及存储介质。在喷嘴载置区域与多个基板载置区域上的各处理位置之间进行喷嘴的输送的液处理装置抑制对与喷嘴连接的配管的损伤并且抑制生产率的下降。将装置构成为具备设置在基板载置区域的列的后方，用于载置喷嘴的喷嘴载置区域以及用于使臂绕转动轴在水平方向上转动并且使所述转动轴在左右方向上移动的驱动部。从喷嘴载置区域将所述喷嘴从与各处理位置对应地设定的待机位置中的与输送目的地的处理位置对应的待机位置的后方输送到该待机位置，接着使该喷嘴在该待机位置待机，之后将该喷嘴输送到所述处理位置。所述待机位置位于基板载置区域的外侧且在前后方向上观察时位于处理位置与喷嘴载置区域之间。

主权项

一种液处理装置，其特征在于，具备：多个基板载置区域，所述多个基板载置区域在左右方向上排列；喷嘴，其用于从各所述基板载置区域上的各处理位置分别向基板供给处理液来对该基板进行处理；喷嘴载置区域，其设置在所述基板载置区域的列的后方，用于载置所述喷嘴；臂，其将所述喷嘴以装卸自如的方式保持在该臂的一端侧；驱动部，其用于使所述臂绕位于所述基板载置区域的后方侧的转动轴在水平方向上转动，并且使所述转动轴在左右方向上移动；以及控制部，其输出控制信号，使得执行以下步骤：从所述喷嘴载置区域将所述喷嘴从与各处理位置对应地设定的待机位置中的与输送目的地的处理位置对应的待机位置的后方输送到该待机位置；接着使该喷嘴在该待机位置进行待机；以及之后将该喷嘴输送到所述处理位置，其中，所述待机位置位于基板载置区域的外侧且在前后方向上观察时位于处理位置与喷嘴载置区域之间。