[发明专利]一种用于植物大棚的多功能传感器

摘要

本发明提供了一种新型结构的用于植物大棚的多功能传感器，包括硅基板、硅基板内的槽、各个槽内分别设置气体敏感材料层、湿度敏感材料层、光探测材料层、紫外探测材料层、红外探测材料层，能够充分利用功能层材料，使得传感器的多样性和灵敏度得到很大的提升。

主权项

一种用于植物大棚的多功能传感器，其特征在于，包含：硅基板，在所述硅基板通过激光开槽在硅基板内设置多个槽，所述槽内四壁具有绝缘层；所述槽底部开设有穿衬底通孔，所述通孔四周形成绝缘层，然后形成有金属通孔电极；各个所述槽内分别设置气体敏感材料层、湿度敏感材料层、光探测材料层、紫外探测材料层、红外探测材料层；设置在各个材料层上的透明导电氧化物层，和所述透明导电氧化物层上的金属层，所述透明导电氧化物层和所述金属层通过刻蚀形成连接各个层上电极；在硅基板未开设槽的区域形成连接各个上电极的探测电路，并且通过在未开设槽的区域开设穿衬底通孔连接背面的电极。