[发明专利]基于固态和空腔结合的薄膜体声波谐振器及加工方法在审
| 申请号： | 201710446794.8 | 申请日： | 2017-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN107171654A | 公开（公告）日： | 2017-09-15 |
| 发明（设计）人： | 王国浩;张树民;陈海龙;汪泉 | 申请（专利权）人： | 杭州左蓝微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/05;H03H9/10;H03H3/02 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司32200 | 代理人： | 李明 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭州经济技术开发*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种全新的结合固态封装型工艺和背部空腔型工艺的薄膜体声波谐振器及其制备方法。通过先在器件正面沉积固态封装型(SMR)的布拉格反射层薄膜，然后在反射层薄膜上面依次沉积并刻蚀底电极、压电材料和顶电极，使之形成压电薄膜换能器堆叠结构，最后在器件背部开口刻蚀形成空腔结构。本发明有效避免了刻蚀时间对器件性能的影响，布拉格反射层加上背部空腔结构，能够比传统的固态封装型(SMR)器件更加有效的将传播的声波反射回压电薄膜换能器堆叠结构，从而提高声电转换的效率；布拉格反射层薄膜充当压电薄膜换能器堆叠器的支撑层，从结构上能加强器件整体的稳固性。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 固态 空腔 结合 薄膜 声波 谐振器 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种薄膜体声波谐振器，其特征在于：包括基底、依次形成在所述基底第一表面的反射层结构、压电换能器堆叠结构；在与所述基底第一表面相对的第二表面上包括空腔；所述空腔与所述压电换能器堆叠结构相对设置，所述压电换能器堆叠结构包括底电极、压电层、顶电极的三明治结构。
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