[发明专利]一种用于不同粗糙度和尺寸的蓝宝石晶片表面清洗装置和方法

摘要

本发明涉及一种用于不同粗糙度和尺寸的蓝宝石晶片表面清洗装置，包括晶片载台、清洗管组、刷洗机构和PLC控制器，凸环内设有真空吸盘，晶片载台上设有若干卡板，旋转接头上设有抽气管，旋转接头连接有电机轴承，清洗管组包括清洗液管、纯水管和氮气管，刷洗机构包括刷洗盘、螺旋杆和第二旋转电机，刷洗盘底部设有毛刷，刷洗盘连接有传动气缸，清洗方法为先将蓝宝石晶片固定，启动第一旋转电机，毛刷清洗同时依次通入蓝宝石晶片清洗液和纯水，再以氮气冲浄残留纯水即可；本发明可有效的将物理和化学力作用相结合，具有通用性强、高效、稳定、清洗能力强的特点，适用于不同粗糙度和尺寸的蓝宝石晶片表面清洗。

主权项

一种用于不同粗糙度和尺寸的蓝宝石晶片表面清洗装置，包括晶片载台、清洗管组、刷洗机构和PLC控制器，其特征为，所述晶片载台中心设有凸环，所述凸环内设有真空吸盘，所述晶片载台上表面边缘处设有若干卡板，若干卡板绕凸环一周均匀间隔设置，所述晶片载台底部设有底座，所述底座底部设有连接轴承，所述连接轴承一端穿过底座与真空吸盘相连，另一端设有旋转接头，所述旋转接头上设有抽气管，所述抽气管连接有抽真空泵，所述旋转接头连接有电机轴承，所述电机轴承连接有第一旋转电机；所述清洗管组包括清洗液管、纯水管和氮气管，且分别位于晶片在台顶部三侧，所述清洗液管和纯水管上设有流量调节器，所述氮气管上设有气压阀，所述清洗液管、纯水管和氮气管上均设有电子阀；所述刷洗机构包括刷洗盘、螺旋杆和第二旋转电机，所述刷洗盘底部设有毛刷，所述刷洗盘位于真空吸盘处，且连接有传动气缸，所述传动气缸上设有调节气阀，所述螺旋杆一端与传动气缸相连，且外部设有支架，所述第二旋转电机设置于支架上，且底部设有传动齿，所述传动齿与螺旋杆配合使用，所述第一旋转电机、电子阀、传动气缸和第二旋转电机均与PLC控制器电连接。