[发明专利]一种复合镀膜装置有效
| 申请号： | 201710451162.0 | 申请日： | 2017-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN107385395B | 公开（公告）日： | 2019-07-05 |
| 发明（设计）人： | 谢立峰;姚卫平 | 申请（专利权）人： | 嘉兴敏胜汽车零部件有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/34;C23C16/44 |
| 代理公司： | 宁波市鄞州盛飞专利代理事务所(特殊普通合伙) 33243 | 代理人： | 张向飞 |
| 地址： | 314000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明属于镀膜技术领域，提供了一种复合镀膜装置，包括：镀膜装置台，镀膜装置台的侧端设有固定板，镀膜装置台上设有蒸发镀膜机构、溅射镀膜机构以及化学镀膜机构，蒸发镀膜机构位于镀膜装置台中间，溅射镀膜机构位于蒸发镀膜机构左上方，化学镀膜机构位于蒸发镀膜机构左下方。与现有技术相比，本发明的优点在于镀膜装置台上设有蒸发镀膜机构、溅射镀膜机构以及化学镀膜机构这三种镀膜机构，在对工件镀膜时可以根据工件的材质进行不同方式的镀膜，复合镀膜装置简化了镀膜工艺，提供了多种镀膜方式，提高了镀膜的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 复合 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
1.一种复合镀膜装置，其特征在于，包括：镀膜装置台，所述镀膜装置台的侧端设有固定板，镀膜装置台上设有蒸发镀膜机构、溅射镀膜机构 以及化学镀膜机构，所述蒸发镀膜机构位于镀膜装置台中间，所述溅射镀膜机构位于蒸发镀膜机构左上方，所述化学镀膜机构位于蒸发镀膜机构左下方，所述蒸发镀膜机构具有第一真空罩体，所述真空第一罩体下端开设 有第一真空系统，所述第一真空罩体内下端固设有支撑架，所述支撑架上 架设有坩埚，所述第一真空罩体内上端设有第一连接杆，所述第一连接杆 下端设有连接板，所述连接板下侧固定有第一基片，且所述第一基片位于 坩埚上方。
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