[发明专利]烘烤设备及烘烤方法有效
| 申请号： | 201710451853.0 | 申请日： | 2017-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN109143799B | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 赵家峥;王忠诚 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/40 | 分类号： | G03F7/40;H01L21/67 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 李昕巍;章侃铱 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种烘烤设备及烘烤方法。烘烤设备包括一加热板。烘烤设备还包括一第一导引衬套。第一导引衬套围绕加热板设置。烘烤设备还包括一第二导引衬套。第二导引衬套位于加热板与第一导引衬套之间。一气流流道定义于第一导引衬套与第二导引衬套之间。气流流道至少部分沿朝向加热板的一延伸方向延伸。 | ||
| 搜索关键词： | 烘烤 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种烘烤设备，包括：一加热板；一第一导引衬套，围绕该加热板设置；一第二导引衬套，位于该加热板与该第一导引衬套之间，其中一气流流道定义于该第一导引衬套与该第二导引衬套之间，该气流流道至少部分沿朝向该加热板的一延长方向延伸；以及一盖体，相对该加热板设置，并位于该第一导引衬套与该第二导引衬套上方，其中一排气口定义于该盖体。
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