[发明专利]一种压电晶体的制造方法在审
申请号: | 201710455512.0 | 申请日: | 2017-06-16 |
公开(公告)号: | CN107313109A | 公开(公告)日: | 2017-11-03 |
发明(设计)人: | 徐秋峰;张寒贫;张忠伟;张鸿;张坚;陈晓强;沈礼东;陈铖;沈晓燕 | 申请(专利权)人: | 天通控股股份有限公司 |
主分类号: | C30B29/30 | 分类号: | C30B29/30;C30B17/00 |
代理公司: | 浙江杭州金通专利事务所有限公司33100 | 代理人: | 王丽丹,吴关炳 |
地址: | 314412 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种压电晶体的制造方法,使用泡生法来生长压电晶体,晶锭可掏出2~6英寸任意轴向的晶棒,所述泡生法是在长晶过程进入等径段时,采用停止向上提拉或微提拉的方式让晶体自然生长,所述提拉速度<0.1mm/h,同时晶体不旋转,所述长晶过程中,晶体顶端位置不高于坩埚口。本发明晶锭可掏出2~6英寸任意轴向的晶棒,来满足声表面波滤波器(SAW)设计时各种晶体轴向的要求,特别是解决一些传统提拉法(CZ)无法生长的晶体轴向。 | ||
搜索关键词: | 一种 压电 晶体 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种压电晶体的制造方法,其特征在于:使用泡生法来生长压电晶体,晶锭可掏出2~6英寸任意轴向的晶棒,所述泡生法是在长晶过程进入等径段时,采用停止向上提拉或微提拉的方式让晶体自然生长,所述提拉速度<0.1mm/h,同时晶体不旋转,所述长晶过程中,晶体顶端位置不高于坩埚口。
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