[发明专利]红外焦平面多色探测器及其制作方法

摘要

本申请公开了一种红外焦平面多色探测器，包括衬底、以及形成于衬底上的外延层，所述衬底上开设有至少一个窗口，所述外延层暴露于所述窗口。本申请还公开了一种红外焦平面多色探测器的制作方法，包括：(1)、提供一红外焦平面探测器；(2)、将掩膜版与红外焦平面探测器的衬底进行对准，然后曝光；(3)、刻蚀衬底，在衬底上形成窗口。本发明探测器中，衬底不去除的，探测0.9～1.7微米，衬底去除的，探测0.4～1.7微米；使用读出电路对两种像素进行减法操作，即可探测0.4～0.9um，实现三色探测能力。

主权项

1.一种红外焦平面多色探测器，其特征在于，包括半绝缘InP衬底、以及形成于衬底上的外延层，所述衬底上开设有至少一个窗口，所述外延层暴露于所述窗口，所述外延层包括光敏元芯片，所述外延层还包括硅读出电路，该硅读出电路与光敏元芯片互连，硅读出电路分别读取衬底未去除部位的红外光波长λ1、窗口部位的可见光至红外光波长λ2，并求取λ1和λ2的读取值的差值。