[发明专利]一种精密加工用化学机械抛光液在审
申请号: | 201710461172.2 | 申请日: | 2017-06-18 |
公开(公告)号: | CN107177315A | 公开(公告)日: | 2017-09-19 |
发明(设计)人: | 赵嘉喜;杨阳 | 申请(专利权)人: | 常州朋悦纺织品有限公司 |
主分类号: | C09G1/02 | 分类号: | C09G1/02 |
代理公司: | 北京风雅颂专利代理有限公司11403 | 代理人: | 马骁 |
地址: | 213102 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种精密加工用化学机械抛光液,属于精密加工技术领域。本发明先将碳酸铈湿磨成浆料,并溶解在柠檬酸、顺丁烯二酸、草酸、丙二酸、盐酸复配而成的多元酸溶液中,再加入硅酸钠溶液形成复合硅溶胶母液,随后加入结晶硅,在氨水的催化作用下,与稀土沉淀物生长至硅溶胶的表面,填补硅溶胶颗粒表面缺陷,使硅溶胶颗粒形貌成圆润球形,经喷雾干燥后置于管式炉中煅烧,得到复合硅抛光粉,最后将其加入脂肪醇聚氧乙烯醚、乙醇、双氧水配置的辅助氧化剂溶液中超声分散,制得精密加工用化学机械抛光液。本发明制备的精密加工用化学机械抛光液具有较高的材料去除率,抛光后可获得优异的表面形貌。 | ||
搜索关键词: | 一种 精密 工用 化学 机械抛光 | ||
【主权项】:
一种精密加工用化学机械抛光液,包括辅助氧化剂溶液和复合硅抛光粉,其特征在于,所述复合硅抛光粉为经结晶硅和铈盐改善形貌的复合硅溶胶静置陈化,再经喷雾干燥后保温煅烧制得。
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