[发明专利]一种同轴传输的多离子束加速器装置在审
申请号: | 201710462223.3 | 申请日: | 2017-06-19 |
公开(公告)号: | CN107333381A | 公开(公告)日: | 2017-11-07 |
发明(设计)人: | 唐兵;陈立华;崔保群;马瑞刚;马鹰俊;黄青华;马燮;蒋渭生 | 申请(专利权)人: | 中国原子能科学研究院 |
主分类号: | H05H7/06 | 分类号: | H05H7/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 102413 *** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种同轴传输的多离子束加速器装置,装置包括进气系统、离子源、束流传输元件、真空系统和靶;束流传输元件包括束流聚焦元件、束流导向元件和后加速段,真空系统包括真空泵和真空室;进气系统、离子源、束流传输元件和靶分别按离子束传输方向顺序设置,其中,离子源、束流聚焦元件、束流导向元件和靶都在真空室内。本发明提供了一种能同时产生并同轴传输注入的多种离子束加速器装置。 | ||
搜索关键词: | 一种 同轴 传输 离子束 加速器 装置 | ||
【主权项】:
一种同轴传输的多离子束加速器装置,其特征在于,该装置包括进气系统(1)、离子源(5)、束流传输元件、真空系统和靶(13);束流传输元件包括束流聚焦元件(8)、束流导向元件(11)和后加速段(12),真空系统包括真空泵(9)和真空室(10);进气系统(1)、离子源(5)、束流传输元件和靶(13)分别按离子束(7)传输方向顺序设置,其中,离子源(5)、束流聚焦元件(8)、束流导向元件(11)和靶(13)都在真空室(10)内。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国原子能科学研究院,未经中国原子能科学研究院许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201710462223.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种电感耦合等离子处理装置及其控制方法
- 下一篇:印刷电路板