[发明专利]线圈调节机构、感应加热装置和气相沉积设备

摘要

本发明提供了一种线圈调节机构，包括旋转件和与旋转件连接的移动转换组件，移动转换组件用于将旋转件的旋转运动转换为沿旋转件的旋转轴线方向的直线运动，移动转换组件包括安装件、移动杆和至少一个定位件，其中，移动杆设置于安装件中，且移动杆的轴线方向与旋转件的旋转轴线方向一致，当旋转件绕旋转轴线旋转时，能够带动移动杆沿该移动杆的轴线方向移动，定位件设置于移动杆和安装件之间，以限定移动杆的位置，防止移动杆发生绕旋转轴线的转动。本发明还提供一种感应加热装置和一种气相沉积设备。本发明的线圈调节机构和感应加热装置，线圈调节机构不容易与线圈发生脱离。

主权项

1.一种线圈调节机构，所述线圈调节机构包括旋转件和与所述旋转件连接的移动转换组件，其特征在于，所述移动转换组件用于将所述旋转件的旋转运动转换为沿所述旋转件的旋转轴线方向的直线运动，所述移动转换组件包括安装件、移动杆和至少一个定位件，其中，所述移动杆设置于所述安装件中，且所述移动杆的轴线方向与所述旋转件的旋转轴线方向一致，当所述旋转件绕所述旋转轴线旋转时，能够带动所述移动杆沿该移动杆的轴线方向移动，所述定位件设置于所述移动杆和所述安装件之间，以限定所述移动杆的位置，防止所述移动杆发生绕所述旋转轴线的转动。