[发明专利]用于减少楔形误差的装置和方法有效
| 申请号： | 201710464995.0 | 申请日： | 2010-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN107255485B | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | M.卡斯特;C.格林赛斯;A.马尔策尔 | 申请（专利权）人： | EV集团E·索尔纳有限责任公司 |
| 主分类号： | G01D5/26 | 分类号： | G01D5/26 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 万欣;宣力伟 |
| 地址： | 奥地利圣*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于在第一表面与第二表面之间带有间隔的情况下相对而置地对准第一衬底的第一表面与第二衬底的第二表面的装置，带有以下特征：－第一容纳器具用于在第一容纳面上容纳第一衬底，－第二容纳器具用于在第二容纳面上容纳第二衬底，－接近器件用于在平移方向上使第一表面接近第二表面直到到达最终位置中，其特征在于，设置有用于在第一表面接近第二表面的期间减少在第一表面与第二表面之间的楔形误差的器件。此外本发明涉及一种用于在第一表面与第二表面之间带有间隔的情况下相对而置地对准第一衬底的第一表面与第二衬底的第二表面的方法，其特征在于，在第一表面接近第二表面期间减少在第一表面与第二表面之间的楔形误差。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 减少 楔形 误差 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种用于相对而置地对准第一衬底(2)的第一表面(2o)与第二衬底(5)的第二表面(5o)的装置，其中在所述第一表面(2o)和所述第二表面(5o)之间具有间隔，具有以下特征:－ 第一容纳器具(1)以用于在第一容纳面(la)上容纳所述第一衬底(2)，－ 第二容纳器具(6)以用于在第二容纳面(6a)上容纳所述第二衬底(5)，－ 接近器件以用于在平移方向(T)上使所述第一表面(2o)接近所述第二表面(5o)直到到达最终位置中，其特征在于，设置有用于在所述第一表面(2o)接近所述第二表面(5o)期间利用在衬底(2,5)的接近期间进行的现场测量来减少所述第一表面(2o)和所述第二表面(5o)之间的楔形误差的器件，并且在所述第一表面(2o)和/或所述第二表面(5o)上设置有模压结构(3)以用于模压在所述第一表面(2o)与所述第二表面(5o)之间的模压材料(4)。
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